广安理工学院“希贤大讲堂”第三讲:清华大学王超教授解析AI与集成电路装备

来源:党委宣传统战部 作者:王紫入 编辑:吕雨韩 审核:张义 终审:范翔宇 时间:2026.10.21 点击数:

10月20日下午,我校思政育人特色讲坛“希贤大讲堂”第三讲在紫金书院报告厅开讲。清华大学精密仪器系长聘教授、博士生导师、国家级高层次人才计划入选者王超,应邀作题为《人工智能驱动的集成电路制程设备发展现状》的学术报告。校党委常委、副院长龙剑平主持,全校广大师生到场聆听学习。

报告围绕人工智能时代集成电路产业的发展需求,从人工智能算力需求形成机制、算力向芯片制造传导路径切入,系统介绍集成电路芯片制程设备的发展现状,重点围绕光刻、刻蚀、薄膜沉积、离子注入、热工艺、清洗、量检测以及化学机械抛光等八大核心制造装备展开分析。王超立足工艺功能、关键被控物理量、全球产业竞争格局三个维度,深度剖析我国集成电路装备面临的技术壁垒以及国产化攻关最新进展,并对混合键合、硅光、共封装光学等下一代前沿技术方向作出展望。他指出,随着国家政策支持和产业投入不断加强,我国集成电路装备国产化水平逐步提升,但在部分先进制程关键设备方面仍面临挑战,需要持续加强技术创新和人才培养。

王超长期从事复杂环境下在线监测技术研究及仪器研发,研究成果落地应用于集成电路制造、航空发动机涡轮叶片在线监测等关键领域。他先后主持国家重大科研仪器研制项目等省部级及以上项目10余项,拥有中美发明专利80余项,发表高水平学术论文100余篇,兼具扎实学术功底与产业量产一线实战经验。这次讲座既有产业宏观格局,又有科研一线细节,为在场师生带来了兼具前沿高度与产业深度的知识分享。

讲座结束后,师生们围绕技术攻关、芯片领域人才培养、学科科研建设等方面踊跃提问,王超结合自身科研经历和产业实践经验细致解答,现场交流氛围浓厚。

此次专题报告紧盯科技前沿,强化国家战略导向,不仅深化了我校师生对人工智能与集成电路装备交叉融合发展的认识,也进一步促进了我校与国内高水平专家团队之间的学术交流,为学校相关学科建设、人才培养和科研创新提供了有益启发,同时也为我校教师将前沿科研视野融入课堂教学与科学研究、打造高质量育人课堂留下了思考方向。